各种纳米结构

使用纳米压印可以加工各种不同形状的纳米结构，如纳米柱、纳米孔、纳米线条、纳米流道等等。

纳米压印作为一种光刻技术，也可以结合各种半导体工艺，如刻蚀、CVD、PVD等，加工各种不同材料的纳米结构，如Si，SiO2，SiN，GaN, TiO2, Au, Al等等。