衍射光学元件（DOE）

衍射光学元件（DOE）是结构光三维传感以及dTOF三维传感模组中最关键的核心元件之一，可应用在3D人脸识别、手机3D摄像头、三维建模、手势识别等各个领域。
使用纳米压印技术加工DOE，不仅可以降低成本，而且可以增加片内均匀性和片间一致性，提高产品良率。

使用纳米压印技术生产DOE的步骤：

1. 使用光刻(如步进式光刻、电子书直写等)加刻蚀技术制作DOE的原始模具。如需要也可以使用原始模具加工带有相同结构的子模具，用于大规模生产。

2. 使用特定材料制作工作模具。工作模具的结构和原始模具是相反的。

3. 使用工作模具及DOE产品所需的特定纳米压印胶，压印晶圆级的DOE产品。