工程匀光片(Engineered Diffuser)
工程匀光片(Engineered Diffuser)是iTOF方案3D传感中最核心的光学元件之一。iTOF方案3D传感具有体积小、测量距离远、受环境光影响小等优点,越来越多的应用在手机、激光雷达、仓储物流、无人机、机器人、智慧家居等领域。
使用纳米压印技术生产工程匀光片,实现晶圆级加工,可以降低成本,保证加工精度和均匀性。
使用纳米压印技术生产Engineered Diffuser的步骤:
1. 使用激光直写技术制作Engineered Diffuser的原始模具。
2. 对原始模具进行抗粘处理,使用特殊材料制作聚合物的子模具。或使用原始模具制作镍材料的子模具。子模具的结构和原始模具一致。
2. 使用子模具和特定材料制作工作模具。工作模具的结构和原始模具是相反的。
3. 使用工作模具及Engineered Diffuser产品所需的特定纳米压印胶,压印晶圆级产品。