超表面 / 超透镜

超表面是指一种厚度小于波长的人工层状材料。超表面可实现对电磁波偏振、振幅、相位等的灵活有效调控。超透镜是超表面的一种，按照一定方式进行排列的二维平面透镜结构，可实现对入射光振幅、相位、偏振等参量的灵活调控，可以用在超分辨显微成像、全息光学、消色差透镜等方面。

使用纳米压印，再结合沉积、刻蚀等半导体技术，可以实现超表面结构的加工，成本低，速度快，加工面积大。这为超表面/超透镜的量产提供了可能性。

使用纳米压印加工超表面结构的步骤：

1. 在基底上沉积介质或金属层

2. 制作纳米压印所需的原始模具（一般用电子束、步进式光刻加刻蚀工艺，做成硅的模具）

3. 使用纳米压印技术将原始模具上的结构图案转移到介质或金属层上面的胶层里

4. 通过刻蚀的方式把结构图案传递到介质或金属层里

（如果介质层不容易刻蚀，为了达到高的深宽比，一般会在介质层上面加金属掩膜层再来刻蚀）