微透镜、光栅等微纳光学元件

微透镜阵列、光栅等微纳光学元件的应用越来越多。使用纳米压印可以低成本、高效率的晶圆级加工各种微纳光学元件。

微透镜阵列是由微米级透镜组成的阵列。它具有尺寸小、集成度高的特点，能够完成一些传统光学元件无法完成的功能，构成一些新型的光学系统。微透镜阵列不仅具有传统透镜的聚焦、成像等功能，还可以用在很多光电传感器、高端照明、光束整形、光束匀化、光纤耦合和激光耦合等方面。采用纳米压印技术加工微透镜阵列，可以在玻璃、硅等材料或集成电路晶圆或器件表面制作微透镜阵列。微透镜的材质是高透光率、耐高温的聚合物，如环氧树脂或丙烯酸酯。

衍射光栅是通过周期性结构，对入射光的振幅或相位（或两者同时）进行周期性空间调制。衍射光栅不仅可以用于光谱学，还广泛用于计量、光通讯、信息处理等领域。我们可以提供各种常用的衍射光栅标准产品之外，还可以提供客户化的定制加工服务，包括纳米级斜齿光栅和闪耀光栅的加工。