AR眼镜
在众多AR镜片方案中,浮雕光栅因其轻薄性和量产可行性被认为是最适合消费类电子应用的方案。而纳米压印则是量产加工浮雕光栅最理想的方法。
浮雕光栅是在玻璃片上制作一层纳米级的光栅结构,用来实现所需的光波导效果。如果使用光刻刻蚀或者机加工的方法来加工这些纳米级光栅,成本会非常高,时间也会很长。纳米压印是唯一可以实现低成本,高效率量产的加工技术。
使用纳米压印制作AR浮雕光栅的步骤:
1. 使用光刻(如电子束直写/干涉光刻/步进式光刻等)加刻蚀技术制作AR光栅的原始模具。
2. 使用原始模具以及特殊的材料和工艺,制作AR光栅的子模具。子模具的结构和原始模具完全一致。还可以通过拼板技术,制作带有多个原始模具结构的大尺寸子模具。子模具一方面可以起到对原始模具的保护作用,另一方面可以提高生产效率,提高产能。
3. 使用子模具和特定的材料制作工作模具。工作模具上的结构和原始模具是相反的。
4. 使用工作模具和AR眼镜所需的特定纳米压印胶,量产晶圆级的AR眼镜产品。