纳米压印模具

母模具：

针对不同结构，我们采用电子束直写、激光直写、曝光光刻、步进式光刻、刻蚀、机加工等不同方式，为客户提供原始母模具。

子模具：

母模具往往非常昂贵，加工周期较长。因此在大规模生产过程中，为了保护母模具，增加其使用寿命，可以用母模具复制出与其结构形貌一致的子模具，使用子模具进行生产。子模具使用的是特殊的树脂材料，经过定期的特定抗粘处理工艺，使用寿命也很长。

拼版模具：

很多母模具需要使用电子束直写来加工，价格和加工周期随着加工面积而增加。比如AR波导光栅，写一个镜片就需要几十万甚至上百万，再加上需要很多天连续加工，可能带来更多误差，因此母模板很难写满整个8或12寸片。我们可以通过拼版工艺将母模具上的结构重复复制到8或12寸片上，做成拼版子模具。使用拼版子模具可以进行大规模生产，大大提高了生产效率，也可以降低母模板的费用和长时间加工可能带来的系统误差。

工作模具：

在纳米压印工艺过程中，从母/子/拼版模具到压印的产品还需要一个中间步骤，制作工作模具。也就是说使用母/子/拼版模具先压印出工作模具，再由工作模具压印出最终产品。这样，工作模具的结构形貌与母/子/拼版模具正好相反，而最终产品的结构形貌与母/子/拼版模具一致。我们使用特殊材料可以即可以提高工作模具的保型性，又可以保证它的脱模性。