微纳加工服务

公司拥有12寸纳米压印生产线，结合电子束直写、步进式光刻、激光直写、干/湿法刻蚀、镀膜、切割等配套工艺，可提供从模具制作、产品工艺开发、小批量到大规模量产的全套微纳加工服务。

加工能力：

• 结构尺寸：从30nm到几个毫米
• 最大深宽比：10:1
• 可以实现曲面结构、多阶结构、斜齿光栅、闪耀光栅等高难度加工

代工产品举例：

• AR光栅波导镜片
• DOE（衍射光学元件）
• Diffuser（工程匀光片）
• 微透镜阵列
• 超表面/超透镜
• 减反结构
• 微纳流控芯片
• 各种纳米结构，如纳米孔、纳米柱等